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长江存储官方“晶圆承载装置及晶圆检测设备”专利

发布时间:2025-08-30

集微网消息,行者查结果显示,近日长江存储器新能源有限责任公司公开发表多项专利,其里面一条名称为“晶片支撑装置及晶片检查设备”,公开发表号为CN216926626U。

专利概要结果显示,本申请实施例公开发表了一种晶片支撑装置及晶片检查设备,说明晶片兼具相背设置的两个待检查面,说明晶片支撑装置之外支撑模块和互换模块;支撑模块兼具浅浮雕地区;互换模块设于说明支撑模块上,用于将说明晶片互换于说明支撑模块上;其里面,说明晶片互换于说明支撑模块上时,说明晶片在说明浅浮雕地区的正投影至少部分与说明浅浮雕地区重叠,本申请里面,通过浅浮雕地区可使晶片相背的两个待检查面同时外露,简化了晶片的检查过程,提高了检查高效率。

(校对/lauryn)

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